Alfa Laval - Substrátový disk PNLS

Substrátový disk PNLS

Substrátový disk je v elektronickém průmyslu tenký plátek polovodičového materiálu, například krystal křemíku, který se používá k výrobě integrovaných obvodů a dalších mikrozařízení. Při řezání křemíkových ingotů na substrátové disky lanovými pilami se musí chladit řezný kal. Společnost Alfa Laval nabízí kompaktní a spolehlivá řešení s vysoce účinným přenosem tepla.

Slurry recovery 640x360

Substrátový disk se používá jako substrát pro připojení mikroelektronických zařízení a prochází mnoha fázemi mikroskopického zpracování, jako jsou dotování nebo implantace iontů, leptání, nanášení různých materiálů a fotolitografické strukturování. Nakonec se jednotlivé mikrobvody oddělí a zabalí.

Jako vhodná řešení z řady výměníků tepla Alfa Laval připadají v úvahu rozebíratelné deskové výměníky tepla, celonerezové výměníky tepla AlfaNova a pájené deskové výměníky tepla. Ve všech případech jde o kompaktní a spolehlivá řešení s vysokou účinností při přenosu tepla.